射频电源是什么意思(什么是射频电源)
2023-12-28 admin 【 字体:大 中 小 】
大家好,今天给各位分享射频电源是什么意思的一些知识,其中也会对什么是射频电源进行解释,文章篇幅可能偏长,如果能碰巧解决你现在面临的问题,别忘了关注本站,现在就马上开始吧!
一、脉冲电源,中频电源,射频电源
上面的仁兄已经解释了概念,那我就说说应用吧。
中频电源是用于中频双靶溅射就是将电源的两极接在两个靶材上,是为了避免靶材中毒,普通的直流溅射中靶材粘附等离子体而是靶成正极,中频双靶溅射就是将等离子体中而使之成中性。还可以提高溅射率。
射频电源是用于射频溅射射频电源在真空室中产生电子,电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材。射频溅射的最大优点是可以制备从导体到绝缘体材料的薄膜。
脉冲电源我就不太清楚了。很少有看到脉冲电源用于真空溅射镀膜上的。
二、什么是射频电源
射频电源(RFgenerator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲,频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格,输出功率从几十瓦到几十千瓦,输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。射频电源可以用于加热,一般用射频电源进行感应加热需要以下装置:射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器射频电源根据需要的频率和功率而定,感应线圈一般由镀银铜管制成,绕在加热容器外,匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗向匹配。
三、射频电源和普通电源的区别
有两个方面的区别;1、电源本质上的区别,射频电源,指的是电源所输出的频率,达到了射频级的电源,一般多为交流电源。普通电源,则是一般的市电。
2、使用上的区别,射频电源,一般都是用于影像,医学上的一些高级设备,如核磁共振。伽玛刀等等。普通电源,指的是一般所用的单相电源和三相电源。
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